1.潔凈車(chē)間潔凈度檢測(cè)的意義

　　潔凈車(chē)間以生產(chǎn)高質(zhì)量、高精度、高要求的產(chǎn)品為目標(biāo)，因此在生產(chǎn)過(guò)程中必須保證車(chē)間的潔凈度。潔凈度檢測(cè)不僅可以檢測(cè)車(chē)間內(nèi)粉塵、細(xì)菌等有害物質(zhì)的存在情況，還可以評(píng)估潔凈車(chē)間內(nèi)的空氣質(zhì)量和衛(wèi)生情況，為車(chē)間內(nèi)的產(chǎn)品質(zhì)量提供保障和參考。

 

　　2.檢測(cè)方法

　?。?）顆粒物計(jì)數(shù)法

　　使用懸浮在空氣中的固態(tài)顆粒物的數(shù)量作為檢測(cè)指標(biāo)，檢測(cè)器可以通過(guò)對(duì)顆粒物的尺寸進(jìn)行分類，以便更好地評(píng)估車(chē)間內(nèi)不同粒徑的顆粒物的潔凈度。

 

　?。?）靜電式脫粒器

　　靜電式脫粒器是一種基于靜電吸附原理的設(shè)備，將空氣中懸浮的顆粒物通過(guò)電場(chǎng)力場(chǎng)收集到靜電板上，并通過(guò)線性化方法測(cè)量其密度。這種方法可以檢測(cè)出極細(xì)小的顆粒物。

 

　?。?）壓差測(cè)量法

　　壓差傳感器被安裝在潔凈車(chē)間和室外之間的空氣過(guò)濾器上，監(jiān)測(cè)室內(nèi)和室外的壓差，以便確定空氣過(guò)濾器的過(guò)濾效率。

 

　　3.行業(yè)應(yīng)用

　　潔凈車(chē)間潔凈度檢測(cè)在諸多行業(yè)中應(yīng)用廣泛，包括半導(dǎo)體制造、光學(xué)制造、醫(yī)藥制造、制造業(yè)生產(chǎn)車(chē)間等等。例如，半導(dǎo)體制造廠的潔凈度必須高達(dá)百萬(wàn)分之一才能保證芯片的生產(chǎn)質(zhì)量，這就需要非常精細(xì)的潔凈度檢測(cè)手段。